晶圆盒运输机器人

晶圆巴士/ 旭东不只是机械设备的供应商,更是为客户提供制程设备,整合规划、设计、制造、训练与整厂售后服务的策略合作伙伴。

晶圆盒运输机器人 - 晶圆盒运输机器人
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晶圆盒运输机器人

SY-ATS

晶圆巴士

专为半导体产线设计的智慧物流方案,具备12个RFID感测储位与多重安全防护,实现高精度导航物流。搭载360°环境感知雷达、3D视觉与坑洞检测功能,强化运输稳定性与人员安全。配合FLEET AI自动调度系统,可灵活部署多机协作,大幅提升生产效率与自动化程度。续航力达10小时以上,适用高强度作业场景。

 

产品应用:

FOSB / FOUP / BOX,欢迎洽谈咨询。

整合高精度自主导航、Lidar SLAM定位及3D AOI物料识别技术,实现仓储搬运的全自动化与智能化。

产品特性
  • 智慧化自主导航,高效自动运输。
  • 高精度定位调度,车队协同应用。
  • 全新产线自动化,既有产线升级。
  • 智慧储位管理-12个RFID储位,随时掌握晶圆盒状态。
  • 多机调度支援-灵活应对大规模/跨楼层物流任务。
  • 配备安全光栅-支援人员与机器协同作业。
  • 可接轨AMHS-相容AMHS系统,实现智慧物流整合。
重点规格
  • 其他车种规格/需求、仓储系统规格/功能,欢迎洽谈咨询。
  • [01]晶圆盒运输巴士基本规格
  • [1]导航:Lidar SLAM / 光达导航;
  • [2]储位:12 / 20 Lot;
  • [3]垂直越障能力:5mm;
  • [4]缝隙跨越能力:30mm;
  • [02]安全防护基本规格
  • [1]光达: 2个位于机身斜对角;
  • [2]单线光达: 4个(机身前后各2个);
  • [3]安全雷达: 2个(机身两侧各1个);
  • [02]机器人伺服系统基本规格
  • [1]功能:(1)MES对接; (2)产线数位看板;
  • [2]功能:任务状态、机器人状态、物料状态;

旭東機械晶圆盒运输机器人服务简介

旭東機械工業股份有限公司是台湾一家拥有超过45年经验的专业晶圆盒运输机器人生产制造服务商。 我们成立于西元1979年, 在电子设备产业领域上,旭東機械提供专业高品质的晶圆盒运输机器人制造服务,旭東機械总是可以达成客户各种品质要求。