自動ウエハーFOUP/FOSB検査装置 | 第4次産業革命向けのインテリジェントプロセス装置。製造業 | Shuz Tung
自動ウエハーFOUP/FOSB検査装置メーカー。半導体製造プロセスにおいて、自動ウエハカセット（FOUP / FOSB）検査装置は、ウエハカセットの外観欠陥、欠損部品、および転送プロセス中の摩擦や衝突による変形を検査し、ウエハカセットの欠陥によるウエハ汚染のリスクを低減するために使用されます。 Shuz Tungは1979年以来、台湾の高品質自動ウエハーFOUP/FOSB検査装置、自動ウェハ検査メーカーです。Shuz Tung 電子機器事業部は2001年に設立され、ハイテク電子機器分野に焦点を当て、自動生産設備やプロセス検査・計測機器の研究開発、設計、製造に専念しています。1979年に設立され、43年の豊富な経験とカスタマイズされた機器製造におけるリソースを持ち、優れた光学、機械、電子、ソフトウェア、およびシステム統合能力を有するShuz Tung機械産業は、精密金型製造、レーザー修理および切断、高精度ボンディング（PCBボンダー）、自動光学検査（AOI）、人工知能画像処理、およびスマート製造のためのターンキー・ソリューションを中心としています。
自動ウエハーFOUP/FOSB検査装置
WF-3000
自動ウェハ検査
半導体製造プロセスにおいて、自動ウエハカセット（FOUP / FOSB）検査装置は、ウエハカセットの外観欠陥、欠損部品、および転送プロセス中の摩擦や衝突による変形を検査し、ウエハカセットの欠陥によるウエハ汚染のリスクを低減するために使用されます。
特長
- 完全自動非接触光学検査。
- カスタマイズ可能なテスト項目。
- SEMI S2認証に準拠。
- SECS / GEM通信に対応。
仕様
- UPH ≥ 17
- 検査項目：ウエハーカセットハンドル、マッシュルームヘッド、ローフレーム（ドア上）、ドアパネルゴムストリップ、ネジ（ドア上）、ローフレーム（前面）、ボトムフィルタ、ボトム情報ピン、ネジ（ボトム）、FOUPウィンドウ、ウィンドウネジ、FOUPウィング、ドアパネルキーホール、その他のバーコード比較、ドアパネルの反り、ドアパネルが完全に閉じていない...など。
- 装置サイズ：2800mm（長さ）x 1900mm（幅）x 2200mm（高さ）
- ギャラリー
ウェハFOUPFOSB検査装置-検出結果
02010205 ウェハFOUPFOSB検査装置-検査項目
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自動ウエハーFOUP/FOSB検査装置 | 台湾製のインテリジェントプロセス装置 | Shuz Tung
1979年以来台湾を拠点に、Shuz Tung Machinery Industrial Co., Ltd. は知能プロセス装置の製造メーカーです。主要なインテリジェントプロセス装置には、自動ウエハーFOUP/FOSB検査装置、半導体自動化装置、半導体計測検査装置、フラットパネルディスプレイターンキー装置、TFT-LCDモジュールプロセス全ライン装置、ウェハーシッパー自動梱包・開梱機が含まれています。当社はハイテク産業における最適な機器効率のためのカスタマイズされた設計を提供しています。生産速度、品質、環境配慮を優先することで競争力と大きな付加価値を確保します。
1979年に設立され、43年の豊富な経験とカスタマイズされた機器製造のリソース、優れた光学、機械、電子、ソフトウェア、およびシステム統合能力を持つShuz Tung Machinery Industrialは、精密金型製造、レーザー修理と切断、高精度ボンディング（PCBボンダー）、自動光学検査（AOI）、人工知能画像処理、およびスマート製造のためのターンキーソリューションを含むコア技術に焦点を当てています。
'SHUZ TUNG'は1979年以来、先進技術と30年の経験を持つ高品質なインテリジェントプロセス装置を顧客に提供しており、Shuz Tungはそれぞれの顧客のニーズを満たすことを保証しています。