自動ウエハーレーザーグルービングプロファイル測定装置
自動ウエハーレーザーグルービングプロファイル測定装置は、主にレーザーグルービング後の三次元プロファイルとサイズの測定に使用され、プロセス仕様に適合しない製品を検出し、ウエハーダイシング中の製品の可用性を確保するために使用されます。
自動ウエハ光学顕微鏡検査装置
自動ウエハ光学顕微鏡検査装置の主な機能は、顧客要件に従ってウエハ検査を行い、手動操作を代替し、ウエハ検査の速度と精度を向上させ、誤検出率を低減し、SECSを介してデータを自動的に報告し、保存し、分析して、知能化および自動化された生産ラインの要件を満たすことです。...
自動ウエハビジョン検査装置
ウエハ外観自動光学検査装置は、高速ウエハ表面、裏面、側面の欠陥検査機能を備え、同時にIQC、IPQC、OQCなどのウエハ生産のプロセス監視に対応し、手作業を代替し、ウエハ検査の速度と精度を向上させ、誤検出率を低減し、データを自動的に報告して保存および分析し、スマート生産ラインのニーズに対応しています。
ウェハプローブカード光学検査装置
ウエハプローブカードの光学検査装置は、ウエハプローブカードの入荷品質管理（IQC）検査および修理検査に使用されます。検査項目には、プローブ先端の平坦性、プローブ長さ、プローブ直径、プローブ位置オフセット、プローブガイドプレートの平坦性、ねじの高さ、およびプリント基板の電子機器が含まれます。また、手動針調整用の立体光学顕微鏡画像プラットフォームを備え、自動検査とプローブカードの調整および修理機能を統合しています。
自動ウエハーFOUP/FOSB検査装置
半導体製造プロセスにおいて、自動ウエハカセット（FOUP / FOSB）検査装置は、ウエハカセットの外観欠陥、欠損部品、および転送プロセス中の摩擦や衝突による変形を検査し、ウエハカセットの欠陥によるウエハ汚染のリスクを低減するために使用されます。
IC基板3Dプロファイル測定装置
プリント基板製造は高密度化と狭い線幅に向けて進化しています。IC基板の3Dプロファイル測定装置は、銅箔線、スルーホールディンプル、表面粗さなどの顧客の主要パラメータ測定ニーズに対応する高解像度の3Dプロファイル測定機能を提供します。顧客の生産収率を向上させるために。