Automatische Wafer-FOUP / FOSB-Inspektionsausrüstung
WF-3000
Automatische Waferkontrolle
Automatische Wafer-Cassette (FOUP / FOSB)-Inspektionsgeräte werden im Halbleiterfertigungsprozess eingesetzt, um Erscheinungsfehler, fehlende Teile und Verformungen der Wafer-Cassette aufgrund von Reibung und Kollision während des Transferprozesses zu inspizieren, um das Risiko einer Wafer-Kontamination aufgrund von Wafer-Cassette-Defekten zu reduzieren.
Eigenschaften
- Vollautomatische berührungslose optische Inspektion.
- Anpassbare Prüfpositionen.
- Entspricht der SEMI S2-Zertifizierung.
- Unterstützt SECS / GEM-Kommunikation.
Spezifikation
- UPH ≥ 17
- Inspektionspunkte: Wafer-Cassettengriff, Pilzkopf, Reihenrahmen (an der Tür), Türverkleidungsgummidichtung, Schraube (an der Tür), Reihenrahmen (vorne), Bodenfilter, Boden-Info-Pin, Schraube (unten), FOUP-Fenster, Fensterschrauben, FOUP-Flügel, Türverkleidungsschlüssellöcher und andere Barcode-Vergleiche, Verformung der Türverkleidung, nicht vollständig geschlossene Türverkleidungen... usw.
- Gerätegröße: 2800mm (L) x 1900mm (B) x 2200mm (H)
- Galerie
- Wafer FOUPFOSB-Inspektionsgerät - Erkennungsergebnis
- 02010205 Wafer FOUPFOSB-Inspektionsgerät - Inspektionsposten
Automatische Wafer-FOUP / FOSB-Inspektionsausrüstung | Hergestellt in Taiwan Intelligente Prozessausrüstung | Shuz Tung
Seit 1979 in Taiwan ansässig, ist Shuz Tung Machinery Industrial Co., Ltd. ein Hersteller von intelligenten Prozessgeräten.Zu den wichtigsten intelligenten Prozessausrüstungen gehören Automatische Wafer-FOUP / FOSB-Inspektionsausrüstung, Halbleiterautomatisierungsausrüstung, Halbleitermesstechnik- und Inspektionsausrüstung, schlüsselfertige Ausrüstung für Flachbildschirme, Ausrüstung für den gesamten Prozess von TFT-LCD-Modulen und automatische Verpackungs- und Entpackungsmaschinen für Wafer-Transportbehälter.Wir bieten maßgeschneiderte Designs für optimale Geräteeffizienz in High-Tech-Branchen an.Die Priorisierung von Produktionsgeschwindigkeit, Qualität und Umweltfreundlichkeit gewährleistet Wettbewerbsvorteile und erheblichen Mehrwert.
Gegründet im Jahr 1979, mit 43 Jahren umfangreicher Erfahrung und Ressourcen in der Herstellung von maßgeschneiderten Geräten sowie herausragenden Fähigkeiten in optischer, mechanischer, elektronischer, Software- und Systemintegration konzentriert sich Shuz Tung Machinery Industrial auf die Kerntechnologien, darunter Präzisionsformenbau, Laserreparatur und -schneiden, hochpräzise Verbindung (PCB-Bonder), Automatische optische Inspektion (AOI), Künstliche Intelligenz-Bildgebung und schlüsselfertige Lösungen für die intelligente Fertigung.
'Shuz Tung' bietet seinen Kunden seit 1979 hochwertige intelligente Prozessausrüstungen mit fortschrittlicher Technologie und 30 Jahren Erfahrung. 'Shuz Tung' stellt sicher, dass die Bedürfnisse jedes Kunden erfüllt werden.