自動ウエハーレーザーグルービングプロファイル測定装置 | スマートマシンの役割:自動化システムにおけるスマート機器の重要性。

自動ウェハ検査 | Shuz Tung機械産業は、半導体、フラットパネルディスプレイプロセス、プリント基板、インテリジェント医療画像、自転車のターンキープランニング、自動車、スクーター、さまざまな産業の部品加工において、国内外の主要企業から相当な信頼と支持を得ています。

自動ウエハーレーザーグルービングプロファイル測定装置 - 自動ウエハーレーザーグルービングプロファイル測定装置
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自動ウエハーレーザーグルービングプロファイル測定装置

LG-3200

自動ウェハ検査

自動ウエハーレーザーグルービングプロファイル測定装置は、主にレーザーグルービング後の三次元プロファイルとサイズの測定に使用され、プロセス仕様に適合しない製品を検出し、ウエハーダイシング中の製品の可用性を確保するために使用されます。

特長
  • 8インチおよび12インチウェハーフレームカセットの自動積み込みおよび排出
  • 自動ウェハーのアライメントおよびフォーカス
  • ナノ解像度の三次元計測
  • SECS / GEM通信に対応。
仕様
  • 倍率: 2.5倍、5倍、10倍、20倍、50倍、100倍、150倍(オプション)
  • 高さ測定の繰り返し精度: ≤ 0.5μm
  • 計測項目: レーザー深さ、レーザースクライブ幅、スクライブ上部幅、スクライブ下部幅、スクライブシフト、表面粗さ
  • 装置サイズ: 2200mm(長さ)× 1400mm(幅)× 1900mm(高さ)

自動ウエハーレーザーグルービングプロファイル測定装置 | 台湾製のインテリジェントプロセス装置 | Shuz Tung

1979年以来台湾を拠点に、Shuz Tung Machinery Industrial Co., Ltd. は知能プロセス装置の製造メーカーです。主要なインテリジェントプロセス装置には、自動ウエハーレーザーグルービングプロファイル測定装置、半導体自動化装置、半導体計測検査装置、フラットパネルディスプレイターンキー装置、TFT-LCDモジュールプロセス全ライン装置、ウェハーシッパー自動梱包・開梱機が含まれています。当社はハイテク産業における最適な機器効率のためのカスタマイズされた設計を提供しています。生産速度、品質、環境配慮を優先することで競争力と大きな付加価値を確保します。

1979年に設立され、43年の豊富な経験とカスタマイズされた機器製造のリソース、優れた光学、機械、電子、ソフトウェア、およびシステム統合能力を持つShuz Tung Machinery Industrialは、精密金型製造、レーザー修理と切断、高精度ボンディング(PCBボンダー)、自動光学検査(AOI)、人工知能画像処理、およびスマート製造のためのターンキーソリューションを含むコア技術に焦点を当てています。

'SHUZ TUNG'は1979年以来、先進技術と30年の経験を持つ高品質なインテリジェントプロセス装置を顧客に提供しており、Shuz Tungはそれぞれの顧客のニーズを満たすことを保証しています。