ソーター
ウエハソーター
ウエハソーターは、8インチウエハの自動仕分けおよび取り扱い機器です。 2つの投入エリア、2つの排出エリア、アライメントステーション、フリップステーション、一時保管エリアが含まれています。 インフィードエリアには、マッピング機能があり、現在の再生状態を知ることができます。アライメントステーションにはウェハーマークのスキャン機能があり、ウェハーマークを知ることができます。 変換方法には、バッチ分割(SECSコマンドに従ってのみ)、バッチ処理(SECSコマンドに従ってのみ)、および一対一の送信が含まれています。 (ウエハのマーキング番号またはSECSコマンドに従ってソートできます。) 給餌エリアは、異なるカセットタイプに対応するようにカスタマイズできます。
- 両面非接触ウェハ/厚さ:200μm/750μm
- 7つの異なるCSTに適用可能(13スロット&25スロット)
- 真空吸着フォークによるエッジ接触
アイテム | 仕様 |
製品 | 8インチウエハー 厚さ:200μm/750μm 反り<3mm |
入出力ポート | >4ポート |
ウエハーマッピング | はい |
ノッチ/フラットの検出/アライナー | はい |
フリップ | 非接触またはエッジ接触 |
ウエハーIDリーダー | OCR(オプションの裏面OCR) |
UPH | 115 |
SECS | オプション |
ディメンション | W 2850 x L 2550 x H 2000 mm |
ソーター | 台湾製のインテリジェントプロセス装置 | Shuz Tung
1979年以来台湾を拠点に、Shuz Tung Machinery Industrial Co., Ltd. は知能プロセス装置の製造メーカーです。主要なインテリジェントプロセス装置には、ソーター、半導体自動化装置、半導体計測検査装置、フラットパネルディスプレイターンキー装置、TFT-LCDモジュールプロセス全ライン装置、ウェハーシッパー自動梱包・開梱機が含まれています。当社はハイテク産業における最適な機器効率のためのカスタマイズされた設計を提供しています。生産速度、品質、環境配慮を優先することで競争力と大きな付加価値を確保します。
1979年に設立され、43年の豊富な経験とカスタマイズされた機器製造のリソース、優れた光学、機械、電子、ソフトウェア、およびシステム統合能力を持つShuz Tung Machinery Industrialは、精密金型製造、レーザー修理と切断、高精度ボンディング(PCBボンダー)、自動光学検査(AOI)、人工知能画像処理、およびスマート製造のためのターンキー・ソリューションを含むコア技術に焦点を当てています。
'SHUZ TUNG'は1979年以来、先進技術と30年の経験を持つ高品質なインテリジェントプロセス装置を顧客に提供しており、Shuz Tungはそれぞれの顧客のニーズを満たすことを保証しています。