晶圓鐵框藍膜自動拆卸設備 | 台灣高品質晶圓鐵框藍膜自動拆卸設備製造商 | 旭東機械工業股份有限公司
旭東機械是台灣專業製造晶圓鐵框藍膜自動拆卸設備及提供晶圓鐵框藍膜自動拆卸設備服務的優良廠商(成立於西元1979年)旭東機械累積超過40年深厚客製化設備製造的淬鍊，憑藉光機電軟系統整合的核心技術，提供平面顯示器面板模組全自動生產線，包括：塗膠設備、邊緣清洗機、外引腳貼合機、塗膠機、印刷電路板貼合機、印刷電路板檢查機、雷射切割劃線機。
晶圓鐵框藍膜自動拆卸設備
晶圓鐵圈膠膜剝離設備
晶圓鐵框主要搭配晶圓切割機使用於晶圓研磨及切割時之固定外框，且晶圓鐵框可重覆回收清洗使用。本設備針對晶圓鐵框進行自動拆卸膠膜，並具備殘留晶片檢測、自動殘膠清洗及自動鐵框裝袋等功能。
產品特性
- 乾式清潔有效去除殘膠。
- 自動光學殘留晶粒檢測。
- 支援SECS／GEM通訊。
產品應用
晶圓鐵框（含藍色膠膜）
重點規格
- Wafer Size: 8", 12", or both
- Wafer Ring Warpage ≤ 1mm
- Film Deformation ≤ 10mm
- UPH > 100
| No. | Item | Criteria | |
|---|---|---|---|
| 1.1 | 作業能力 | 入料規格 | 12" Wafer ring |
| 1.2 | Wafer frame Cassette 方式入料 | ||
| 1.3 | 可容許產品變形量 | Wafer ring Warpage ≦ 1mm | |
| 1.4 | 膠膜變形量 ≦ 10mm | ||
| 2.1 | Load Port | Cassette | 1. 可放置2個Cassette. 2. 可承受單Cassette max.重量 20Kg |
| 2.2 | Cassette 作業中，安全門不得開啓。(指定Omron safety switch) | ||
| 2.3 | Cassette防掉落環未開啟，機台須Alarm，不得作業。 | ||
| 2.4 | Cassette 放置未定位，機台須Alarm並停止作業。 | ||
| 2.5 | Cassette在席檢知功能，檢測無cassette機台須Alarm並停止作業。 | ||
| 2.6 | Wafer Ring 凸片檢知，或防止凸片撞料防呆機制。 | ||
| 2.7 | Wafer Ring 斜插／位置／數量檢查功能，並顯示於操作介面。 | ||
| 2.8 | Wafer Ring Arm | 1. 須有Wafer Ring脫夾檢知。 2. Arm 過推/拉保護機制，推力值 ≧2kgf Alarm。 | |
| 2.9 | 1. 吸取失敗真空檢知。 2. 廠務斷真空，可保壓3分鐘以上，其間可以將產品放置在安全位置上，無掉片疑慮。 3. 斷電時，設備無法運作，但可持續保壓，無掉片疑慮。 | ||
| 2.10 | E84 | 預留E84功能升級 | |
| 2.11 | Ring ID | Reader | 讀取Wafer ring 1D barcode |
| 3.1 | 鐵圈與膠模分離作業 | 移載Arm | 吸取失敗真空檢知。 |
| 3.2 | 膠膜放置失敗檢知 (黏在移載Arm) | ||
| 3.3 | 膠模下料區 | 1. 以堆疊方式放置，堆疊Max 高度60mm。 2. 堆疊區共2區。 3. 堆疊區在席檢知須有自動換批防混功能。 | |
| 3.4 | 隔離紙放置功能 | ||
| 3.5 | 隔離紙儲槽補料檢測功能。 | ||
| 3.6 | 鐵圈與膠模分離作業 | 鐵圈下料區 | 1. 以堆疊方式放置，堆疊Max.高度150mm。 2. 堆疊滿料檢知。 |
| 4.1 | 機台全區 | 狀態檢知 | 作業過程發生機構移載失敗或未定位需 Alarm。 |
| 4.2 | 安全機制 | 作業中所有入、出料與維修作業門板禁止開啟。 | |
- 相簿
設備內部
下載 
旭東機械 晶圓鐵框藍膜自動拆卸設備服務簡介
旭東機械工業股份有限公司是台灣一家擁有超過45年經驗的專業晶圓鐵框藍膜自動拆卸設備生產製造服務商。 我們成立於西元1979年, 在電子設備產業領域上, 旭東機械提供專業高品質的晶圓鐵框藍膜自動拆卸設備製造服務, 旭東機械 總是可以達成客戶各種品質要求。
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