晶圓自動光學顯微鏡檢測設備
OMM-3200
晶圓自動光學顯微鏡檢測設備的主要功能是依客戶需求進行晶圓缺陷檢測,取代人工作業、提昇晶圓檢測速度及準確性,降低誤檢率,並透過SECS 自動數據上報儲存分析,符合智能產線智動化需求,有效降低客戶檢測成本,並完成與終端客戶的檢出比對,以及多樣態的檢測方式(AQL抽檢、多區抽檢、加嚴檢),Pad檢測區形貌(幾何外框)的客製化設定等。
產品特性
- 可選擇單或雙晶圓盒自動入料載台系統。
- 具備尺寸量測及AOI + AI缺陷檢測功能。
- 可客製化手動設備改造為自動化設備。
- 支援SECS/GEM通訊。
產品應用
晶圓尺寸:8吋、12吋
物鏡倍率:5X、10X、20X、50X、100X (Optional)
自動對焦:Imaging or Optical Confocal
軟體功能:OCR、Recipe Setup、Defect AOI
設備尺寸:1900mm (L) x 1704mm (W) x 1800mm (H)
- 相簿
- 自動晶圓光學顯微鏡檢測設備
- 晶圓光學顯微鏡用戶界面
旭東機械 晶圓自動光學顯微鏡檢測設備服務簡介
旭東機械工業股份有限公司是台灣一家擁有超過45年經驗的專業晶圓自動光學顯微鏡檢測設備生產製造服務商。 我們成立於西元1979年, 在電子設備產業領域上, 旭東機械提供專業高品質的晶圓自動光學顯微鏡檢測設備製造服務, 旭東機械 總是可以達成客戶各種品質要求。
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