晶圆铁框蓝膜自动拆卸设备 | 台湾高品质晶圆铁框蓝膜自动拆卸设备制造商 | 旭東機械工業股份有限公司
旭東機械是台湾专业制造晶圆铁框蓝膜自动拆卸设备及提供晶圆铁框蓝膜自动拆卸设备服务的优良厂商(成立于西元1979年)旭東機械累积超过40年深厚客制化设备制造的淬链，凭借光机电软系统整合的核心技术，提供平面显示器面板模组全自动生产线，包括：涂胶设备、边缘清洗机、外引脚贴合机、涂胶机、印刷电路板贴合机、印刷电路板检查机、雷射切割划线机。
晶圆铁框蓝膜自动拆卸设备
晶圆铁圈胶膜剥离设备
晶圆铁框主要搭配晶圆切割机使用于晶圆研磨及切割时之固定外框，且晶圆铁框可重覆回收清洗使用。本设备针对晶圆铁框进行自动拆卸胶膜，并具备残留晶片检测、自动残胶清洗及自动铁框装袋等功能。
产品特性
- 干式清洁有效去除残胶。
- 自动光学残留晶粒检测。
- 支援SECS／GEM通讯。
产品应用
晶圆铁框（含蓝色胶膜）
重点规格
- Wafer Size: 8", 12", or both
- Wafer Ring Warpage ≤ 1mm
- Film Deformation ≤ 10mm
- UPH > 100
| No. | Item | Criteria | |
|---|---|---|---|
| 1.1 | 作业能力 | 入料规格 | 12" Wafer ring |
| 1.2 | Wafer frame Cassette 方式入料 | ||
| 1.3 | 可容许产品变形量 | Wafer ring Warpage ≦ 1mm | |
| 1.4 | 胶膜变形量≦ 10mm | ||
| 2.1 | Load Port | Cassette |
1. 可放置2个Cassette. 2. 可承受单Cassette max.重量20Kg |
| 2.2 | Cassette 作业中，安全门不得开启。(指定Omron safety switch) | ||
| 2.3 | Cassette防掉落环未开启，机台须Alarm，不得作业。 | ||
| 2.4 | Cassette 放置未定位，机台须Alarm并停止作业。 | ||
| 2.5 | Cassette在席检知功能，检测无cassette机台须Alarm并停止作业。 | ||
| 2.6 | Wafer Ring 凸片检知，或防止凸片撞料防呆机制。 | ||
| 2.7 | Wafer Ring 斜插／位置／数量检查功能，并显示于操作介面。 | ||
| 2.8 | Wafer Ring Arm |
1. 须有Wafer Ring脱夹检知。 2. Arm 过推/拉保护机制，推力值≧2kgf Alarm。 | |
| 2.9 |
1. 吸取失败真空检知。 2. 厂务断真空，可保压3分钟以上，其间可以将产品放置在安全位置上，无掉片疑虑。 3. 断电时，设备无法运作，但可持续保压，无掉片疑虑。 | ||
| 2.10 | E84 | 预留E84功能升级 | |
| 2.11 | Ring ID | Reader | 读取Wafer ring 1D barcode |
| 3.1 | 铁圈与胶模分离作业 | 移载Arm | 吸取失败真空检知。 |
| 3.2 | 胶膜放置失败检知(黏在移载Arm) | ||
| 3.3 | 胶模下料区 |
1. 以堆叠方式放置，堆叠Max 高度60mm。 2. 堆叠区共2区。 3. 堆叠区在席检知须有自动换批防混功能。 | |
| 3.4 | 隔离纸放置功能 | ||
| 3.5 | 隔离纸储槽补料检测功能。 | ||
| 3.6 | 铁圈与胶模分离作业 | 铁圈下料区 |
1. 以堆叠方式放置，堆叠Max.高度150mm。 2. 堆叠满料检知。 |
| 4.1 | 机台全区 | 状态检知 | 作业过程发生机构移载失败或未定位需Alarm。 |
| 4.2 | 安全机制 | 作业中所有入、出料与维修作业门板禁止开启。 | |
- 相簿
设备内部
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旭東機械晶圆铁框蓝膜自动拆卸设备服务简介
旭東機械工業股份有限公司是台湾一家拥有超过45年经验的专业晶圆铁框蓝膜自动拆卸设备生产制造服务商。我们成立于西元1979年, 在电子设备产业领域上,旭東機械提供专业高品质的晶圆铁框蓝膜自动拆卸设备制造服务,旭東機械总是可以达成客户各种品质要求。
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