晶圓外觀自動光學檢測設備

晶圓外觀自動光學檢測設備 / 旭東不只是機械設備的供應商,更是為客戶提供製程設備,整合規劃、設計、製造、訓練與整廠售後服務的策略合作夥伴。

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晶圓外觀自動光學檢測設備

M-3200

晶圓外觀自動光學檢測設備具備高速晶圓正面、背面及側邊缺陷檢測功能,同時滿足晶圓生產的IQC、IPQC、OQC等流程監控,並可取代人工作業、提昇晶圓檢測速度及準確性,降低誤檢率,自動數據上報儲存分析,符合智能產線智動化之需求。

產品特性
  • 全自動化晶圓外觀缺陷檢測。
  • 可客製化搭配顯微鏡缺陷檢測。
  • AOI + AI軟體缺陷檢測及分類功能。
產品應用

晶圓尺寸:8吋、12吋
檢測速度:WPH ≥ 100
檢測項目:變色、刮痕、髒污、崩邊、裂紋、製程缺陷

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旭東機械 晶圓外觀自動光學檢測設備服務簡介

旭東機械工業股份有限公司是台灣一家擁有超過45年經驗的專業晶圓外觀自動光學檢測設備生產製造服務商。 我們成立於西元1979年, 在電子設備產業領域上, 旭東機械提供專業高品質的晶圓外觀自動光學檢測設備製造服務, 旭東機械 總是可以達成客戶各種品質要求。