自動HWS梱包設備
SPH
アキレスHWS自動梱包システム
半導体ウェハー製造において、ウェハーの搬送前後や工場間のプロセス転送時にウェハーキャリアを自動的に包装する自動HWSパッキングが使用されています。 この機器の主な機能は、顧客指定のフラット口アルミ袋にHWS、脱水剤パケット、湿度カード、ラベルを真空シールすることです。 その利点はウエハーパッケージの品質向上、パッケージの気密性の確保、手作業によるウエハーフラグメントのリスクの低減、そしてスマート生産ラインのニーズに対応することです。
特長
- 自動真空熱シール。
- 電源投入中。
- 追跡可能なプロセス記録。
- N2パージガス充填機能。
アプリケーション
半導体ICパッケージング、テストおよび関連産業。
仕様
- UPH ≥ 20〜40(オプション)
- MCBI ≥ 1000
- 適用可能なキャリア:アキレス、エンテグリス
- 適用可能な包装袋:アルミニウム袋、帯電防止袋、透明袋
HWS | モデル | インテグリス SmartStack 300mm |
その他: | ||
その他: | ||
ポート番号 | 1ポート | |
2 ポート | ||
その他: | ||
バッファ番号 | 9 バッファ | |
その他: | ||
読み取り機能 | RFID 読み取り機能 | |
書き込み機能 | RFID 書き込み機能 | |
ESD 保護 | 1 | |
ローディング方法 | CVを介してロード中 | |
手動でロード中 | ||
その他: | ||
給餌パスライン | 900mm | |
ラベル機能 | ラベリング機の番号 | HWS: |
バッグ: | ||
適用可能なラベルサイズ | 135(縦)x 75(横)mm | |
その他: | ||
検査機能 | ラベルのバーコードを読んで、材料とアカウントを比較する | |
ラベルの位置チェック | ||
ラベルの位置(HWS) | ドア側 | |
その他: | ||
ラベルの位置(バッグ) | バッグの表面位置: | |
その他: | ||
ラベル番号 | 1 | |
その他: | ||
脱湿剤の設置機能 | 脱湿剤のサイズ | 120(縦)× 100(横)× 20(厚)mm |
脱湿剤の位置 | HWSカバー上 | |
その他: | ||
脱湿剤の数 | 1パック | |
2パック | ||
その他: | ||
脱湿剤用バッファ容量 | 40パック×2(引き出し式) | |
その他: | ||
バッグ収納 | 種類 | アルミニウムバッグ |
サイズ | 518(W)× 465(H)、許容差± 3mm | |
2個(1種類に適用) | ||
3個(2種類に適用) | ||
封口機能 | 封口方法 | 出荷ボックスを上部にドアを開けてバッグに押し込む |
N2を補充 | N2 | |
バッグの折りたたみ&テーピング機能 | バッグの折りたたみ | シール位置でバッグを折りたたむ |
テープ | ID: 77mm; OD: 100mm; 幅: 60mm | |
その他: | ||
アウトポート | ポート番号 | 1ポート |
2 ポート | ||
その他: | ||
バッファ番号 | 30 | |
その他: | ||
アンロードステーションパスライン | カセット |
任意の要件(オプション)
データ転送システム(SECS/GEM)
- ギャラリー
- HWSパッキング
自動HWS梱包設備 | 台湾製のインテリジェントプロセス装置 | Shuz Tung
1979年以来台湾を拠点に、Shuz Tung Machinery Industrial Co., Ltd. は知能プロセス装置の製造メーカーです。主要なインテリジェントプロセス装置には、自動HWS梱包設備、半導体自動化装置、半導体計測検査装置、フラットパネルディスプレイターンキー装置、TFT-LCDモジュールプロセス全ライン装置、ウェハーシッパー自動梱包・開梱機が含まれています。当社はハイテク産業における最適な機器効率のためのカスタマイズされた設計を提供しています。生産速度、品質、環境配慮を優先することで競争力と大きな付加価値を確保します。
1979年に設立され、43年の豊富な経験とカスタマイズされた機器製造のリソース、優れた光学、機械、電子、ソフトウェア、およびシステム統合能力を持つShuz Tung Machinery Industrialは、精密金型製造、レーザー修理と切断、高精度ボンディング(PCBボンダー)、自動光学検査(AOI)、人工知能画像処理、およびスマート製造のためのターンキーソリューションを含むコア技術に焦点を当てています。
'SHUZ TUNG'は1979年以来、先進技術と30年の経験を持つ高品質なインテリジェントプロセス装置を顧客に提供しており、Shuz Tungはそれぞれの顧客のニーズを満たすことを保証しています。