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CF(Color Filter) AOI |
CF(Color Filter) AOI
Color Filter 檢查模組，採用快速、高解析攝影機，配合數位影像處理及精密光學，整合系統化，達到缺陷檢測及資料彙整分析上報。
可依據線上生產時間, 基板大小, 缺陷大小作適當的設計. 因此適用於新進設備或廠內既有之所有生產線. 採用正反射光源, 可檢出如下的各項代表性缺陷:
- BM Pinholes, RGB Pinholes, ITO Pinholes.
- BM 殘留及光阻殘留
- 外來異物及顆粒 * 突起(TOKKI), Mura 檢出
- PS Missing * MVA 缺陷
性能特色
- 高頻寬CCD影像擷取
- 高精度缺陷檢出、高速度處理
- 高信賴性、高生產率
- 高效率之軟體運算，高速檢測能力
- 模組系統的概念
- 直覺化人機介面設計，彈性設計滿足客戶需求
- 用戶檢出資料管理• 統計處理
- 各層 LAYER 的自動缺陷分類及 MASK 功能
- 自動缺陷影像擷取
| Item | Items | Spec |
|---|---|---|
| 1 | Glass size | G3.5/4/4.5/5/6/7.5/8.5, Up to 2200mm x 2500mm |
| 2 | Glass thickness | 0.3mm~1.1mm |
| 3 | Optical Resolution | ≧ 7um |
| 4 | Target Defects | Particles ,Gel ,PS Lost, Scriber , ITO aureole , lighting Lost |
| 5 | Defect information | Defect position, Defect size, Defect type ,Defect area |
| 6 | Option | SPC |
| 7 | Option | Review System (2X~20 , 5~50X) |