Products |
玻璃檢查機Cover Lens AOI |
採用快速、高解析攝影機,設計之量測模組,配合數位影像處理及精密光學,整合系統化,達到準確量測及資料彙整分析上報。可依據線上生產時間, 基板大小, 量測解析作適當的設計.可提供生產品質即時監控,提供數據回饋修正生產參數,確保良率。
Cover Lens、OGS...等
項目 | 規格 |
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玻璃尺寸 | G3.5/4/4.5/5/6/7.5/8.5, Up to 2200mm x 2500mm |
玻璃厚度 | 0.3mm~1.1mm |
光學解析度 | ≧ 10um |
目標檢出 |
粉塵, 黑色矩陣偏移(BM Shift), 光阻針孔(BM Pin Hold),
裂痕(Chipping),刮傷,裂痕.
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量測類型 | 尺寸, 黑色矩陣(BM) |
缺陷檢出 | 缺陷位置、缺陷大小、缺陷種類、缺陷區域 |
選配 | 統計製程管制 |
選配 | Review System (2X~20 , 5~50X) |