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電設事業處/ 產品展示 / 液晶顯示器設備 / 陣列光學檢查機(Array AOI)

產品展示

 

 

Products

 

陣列光學檢查機(Array AOI)

產品標題名稱

陣列光學檢查機(Array AOI)

TFT ARRAY AOI 檢查模組,採用快速、高解析攝影機,配合數位影像處理及精密光學,整合系統化,達到缺陷檢測及資料彙整分析上報。


可依據線上生產時間, 基板大小, 缺陷大小作適當的設計. 因此適用於新進設備或廠內既有之所有生產線. 採用正反射光源, 可檢出如下的各項代表性缺陷:

  • Pattern缺陷, mask 缺陷, 共通缺陷
  • Shorts, opens
  • 髒污, PR 殘留

性能特色

  • 高頻寬TDI Camera 影像擷取
  • 高精度缺陷檢出、高速度處理
  • 高信賴性、高生產率
  • 高效率之軟體運算,高速檢測能力
  • 模組系統的概念
  • 依客戶需求的人機介面設計
  • 用戶檢出資料管理,統計處理
  • 不規則區的圖案比對 最新的資料庫及 網路(Network)設計
  • 自動缺陷分類及 框選無視功能
  • 自動缺陷影像擷取

Item Items Spec
1 玻璃尺寸 G3.5/4/4.5/5/6/7.5/8.5, Up to 2200mm x 2500mm
2 玻璃厚度 0.3mm~1.1mm
3 光學解析度 ≧ 1um
4 檢測目標 電線斷路/短路, 島狀物(Island), 刮傷,粉塵
5 缺陷檢出 缺陷位置、缺陷大小、缺陷種類、缺陷區域
6 選配 統計製程管制
7 選配 Review System (2X~20 , 5~50X)