晶圆盒自动包装设备

FOUP / FOSB自動包裝機/ 旭东不只是机械设备的供应商,更是为客户提供制程设备,整合规划、设计、制造、训练与整厂售后服务的策略合作伙伴。

晶圆盒自动包装设备 - FOUP / FOSB 晶圓盒自動包裝機
  • 晶圆盒自动包装设备 - FOUP / FOSB 晶圓盒自動包裝機

晶圆盒自动包装设备

SPK

FOUP / FOSB自動包裝機

晶圓盒自動包裝主要應用於晶圓出貨及廠區間轉移,可節省人力、減少工安、提升晶圓包裝品質、確保晶圓盒包裝之氣密性,有效降低人工作業產生之晶圓破片風險。可依客戶需求將晶圓盒(FOUP、FOSB)、乾燥包、濕度卡及客戶標籤,真空密封入客戶指定之袋型(鋁袋、抗靜電袋、透明袋)內。

产品特性
  • 可客製單層或雙層包裝。
  • RFID自動裝卸及可回收。
  • 自動真空熱封。
  • 補料不停線。
  • 流程紀錄可追朔。
  • 填充氮氣功能。
  • 可串接OHT & AGV, OHT & AGV can be connected in series。
产品应用

半導體晶圓製造、封裝及測試產業。

重点规格
  • UPH ≥ 40
  • MCBI ≥ 2000
  • 對應的晶圓盒Wafer Carrier種類:FOUP/FOSB (12")、POD (8")
  • 對應的晶圓包裝袋種類:鋁袋aluminum bags、抗靜電袋antistatic bags、透明袋transparent bags
相簿

旭東機械晶圆盒自动包装设备服务简介

旭東機械工業股份有限公司是台湾一家拥有超过45年经验的专业晶圆盒自动包装设备生产制造服务商。 我们成立于西元1979年, 在电子设备产业领域上,旭東機械提供专业高品质的晶圆盒自动包装设备制造服务,旭東機械总是可以达成客户各种品质要求。