SORTER
Wafer Sorter
Wafer Sorter 自動排序搬運設備是給8吋晶圓使用,包含兩個入料區、兩個出料區、對位站、翻轉站以及一個暫存區, 入料區有mapping功能,可以得知目前放片狀況,對位站有晶圓刻號掃描功能,可以得知該晶圓刻號,轉換方式包含拆批(只依照SECS命令),併批(只依照SECS命令),一對一對傳(可依照晶圓刻號排序或依照SECS命令)。入料區可以客製化設計,以對應不同的卡匣種類。
Item |
Specification |
Product |
8”wafer Thickness: 200um/750um Warpage<3mm |
In/out Port |
> 4 port |
Wafer Mapping |
Yes |
Notch/flat finding/Aligner |
Yes |
Flip |
Non-contact or Edge contact |
Wafer ID reader |
OCR (Optional backside OCR) |
UPH |
115 |
SECS |
Option |
Dimension |
W 2850 x L 2550 x H 2000 mm |
旭東機械 SORTER服務簡介
旭東機械工業股份有限公司是台灣一家擁有超過45年經驗的專業SORTER生產製造服務商。 我們成立於西元1979年, 在電子設備產業領域上, 旭東機械提供專業高品質的SORTER製造服務, 旭東機械 總是可以達成客戶各種品質要求。
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