应用范围

• TFT-LCD & Touch Panel制程设备

产品特性

• 利用更换STAGE治具& 自动开合的方式进行Model Change。
• 清洗机构固定，利用Cell移动，达到Clean功能。
• 布卷+溶剂→主要针对难溶性物质。
• Plasma清洗→主要针对有机物清洁。
• Clean区域：Cell Bonding边，离CF边之距离≦0.3mm。
• Clean速度：100～250mm/s（可调）。

产品应用

面板尺寸：主要7"～110"
面板厚度：0.8～2.2mm
清洗位置精度X：< ± 0.2mm（3δ），Y：< ± 0.1mm（3δ）（以50pcs产品计算）
时时检知清洗位置偏移，Panel的位置偏移超过设定的量，设备报警提示。