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TS (Touch Sensor) AOI |
TS (Touch Sensor) AOI
觸控感應 檢查模組(Touch Sensor)，採用快速、高解析攝影機，配合數位影像處理及精密光學，整合系統化，達到缺陷檢測及資料彙整分析上報。可依據線上生產時間, 基板大小, 缺陷大小作適當的設計. 因此適用於新進設備或廠內既有之所有生產線.
採用正反射光源, 可檢出如下的各項代表性缺陷:
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銦錫氧化物針孔、金屬針孔(ITO Pinholes, Metal Pinholes)
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橋接斷路(Bridge Break/Lost)
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電線斷路及短路(Circuit Open/Short)
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金屬殘留物(Metal Remain)
性能特色
- ·高解析/頻寬Line Scan / TDI Camera 影像擷取
- 高精度缺陷檢出、高速度處理
- 高信賴性、高生產率
- 高效率之軟體運算，高速檢測能力
- 模組系統的概念
- 直覺化人機介面設計，彈性設計滿足客戶需求
- 用戶檢出資料管理• 統計處理
- 各層 LAYER 的自動缺陷分類及 MASK 功能
- 自動缺陷影像擷取
| Item | Items | Spec |
|---|---|---|
| 1 | 玻璃尺寸 | G3.5/4/4.5/5/6/7.5/8.5, Up to 2200mm x 2500mm |
| 2 | 玻璃厚度 | 0.3mm~1.1mm |
| 3 | 光學解析度 | ≧ 3um |
| 4 | 檢測目標 |
粉塵, 圖案偏移, 銦錫氧化物/ 金屬, 電線斷路/短路,橋接(Bridge), 刮痕
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| 5 | 缺陷檢出 | 缺陷位置、缺陷大小、缺陷種類、缺陷區域 |
| 6 | 選配 | 統計製程管制 |
| 7 | 選配 | Review System (2X~20 , 5~50X) |