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TS (Touch Sensor) AOI

產品標題名稱

TS (Touch Sensor) AOI

觸控感應 檢查模組(Touch Sensor),採用快速、高解析攝影機,配合數位影像處理及精密光學,整合系統化,達到缺陷檢測及資料彙整分析上報。可依據線上生產時間, 基板大小, 缺陷大小作適當的設計. 因此適用於新進設備或廠內既有之所有生產線.


採用正反射光源, 可檢出如下的各項代表性缺陷:

  • 銦錫氧化物針孔、金屬針孔
    (ITO Pinholes, Metal Pinholes)
  • 橋接斷路
    (Bridge Break/Lost)
  • 電線斷路及短路
    (Circuit Open/Short)
  • 金屬殘留物
    (Metal Remain)

性能特色

  • ·高解析/頻寬Line Scan / TDI Camera 影像擷取
  • 高精度缺陷檢出、高速度處理
  • 高信賴性、高生產率
  • 高效率之軟體運算,高速檢測能力
  • 模組系統的概念
  • 直覺化人機介面設計,彈性設計滿足客戶需求
  • 用戶檢出資料管理• 統計處理
  • 各層 LAYER 的自動缺陷分類及 MASK 功能
  • 自動缺陷影像擷取

Item Items Spec
1 玻璃尺寸 G3.5/4/4.5/5/6/7.5/8.5, Up to 2200mm x 2500mm
2 玻璃厚度 0.3mm~1.1mm
3 光學解析度 ≧ 3um
4 檢測目標
粉塵, 圖案偏移, 銦錫氧化物/ 金屬, 電線斷路/短路,橋接(Bridge), 刮痕
5 缺陷檢出 缺陷位置、缺陷大小、缺陷種類、缺陷區域
6 選配 統計製程管制
7 選配 Review System (2X~20 , 5~50X)