Products |
TS (Touch Sensor) AOI |
觸控感應 檢查模組(Touch Sensor),採用快速、高解析攝影機,配合數位影像處理及精密光學,整合系統化,達到缺陷檢測及資料彙整分析上報。可依據線上生產時間, 基板大小, 缺陷大小作適當的設計. 因此適用於新進設備或廠內既有之所有生產線.
採用正反射光源, 可檢出如下的各項代表性缺陷:
Item | Items | Spec |
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1 | 玻璃尺寸 | G3.5/4/4.5/5/6/7.5/8.5, Up to 2200mm x 2500mm |
2 | 玻璃厚度 | 0.3mm~1.1mm |
3 | 光學解析度 | ≧ 3um |
4 | 檢測目標 |
粉塵, 圖案偏移, 銦錫氧化物/ 金屬, 電線斷路/短路,橋接(Bridge), 刮痕
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5 | 缺陷檢出 | 缺陷位置、缺陷大小、缺陷種類、缺陷區域 |
6 | 選配 | 統計製程管制 |
7 | 選配 | Review System (2X~20 , 5~50X) |